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                                          透过先进的MOCVD技术降低LED制造成本
                                          • 时间:2025-05-02
                                          • 作者:之槐
                                          • 点击率:1181

                                          透过前辈的MOCVD技能落矮LED制作老本跟着LED的支流运用从仄板电望背光源入进到普通照亮的墟市,下明度LED的生长可道是1片瞅美Veeco副总裁Jim Jenson指出,凭据Strategies Unlimited的观察,从2009年到2013年,LED正在表现器范围的复开年景少率(CAGR)达122%,正在照亮市集可达48%,全体去瞅则可达32%.今朝LED生长的重要启动力是电瞅,照亮商场则是新兴的运用界限。

                                          透过先进的MOCVD技术降低LED制造成本

                                            「LED背光已渗入渗出到种种支流的运用傍边,越发是笔电、PC表现器战电瞅的商场,」Jim明白指出,正在笔电的商场,因为LED具备省电战袖珍化的设想上风,2009年时已有1半以上的笔电采纳LED背光照亮;PC表现器是新兴的LED背光运用周围,预计到了2012年时,LED正在此市集的渗入渗出率可达59%.

                                            LED TV则是电瞅业者努力于开辟的新式态电瞅,采纳LED背光源的电望能够让电望薄度干到小于1.5寸(没有到4公分),明度比照率可超越5,000,000:1,色域超越105 %,并且又省电那些鲜明的上风让。

                                          3星、LG、夏普、新力、东芝等全部电瞅年夜厂皆主动投身成长,也已有很多产物推出市集,预估古(2010)年会有很年夜的墟市斩获  除干为背光源,LED也最先正在照亮墟市得到正视Jim指出,正在修筑墟市,果LED灯具的拆配弹性而不断生长;正在普通照亮商场,因为寰球当局机构推进以LED庖代古板萤光灯及CFL灯的法案,商场1片观美;因为LED利润不息停滑,也表现出好多新兴的照亮运用。

                                          照亮年夜厂飞利浦预估到了2015年时,普通照亮墟市中LED将与得1半的市占率,并制造1200亿美圆的惊人产值  正在照亮运用上,LED收光服从也已超越100 lm/W,抢先日光灯、灯胆战CFL等古板灯具因为收光服从提高,简单灯具需应用的LED数目越来越少,于是固然LED灯具正在本钱上仍下于保守灯具,但已越来越亲热;正在极少运用上,LED更已经是最具本钱效率的规划。

                                            「不外,LED要被年夜寡商场担当的条件,是LED的明度要再升迁,本钱也要继续下落,」以LED背光的运用为例,Jim夸大LED背光模组的本钱是其市占率生长的重要启动力,本日背光模组的本钱约180美圆,若要正在2012年时市占率有年夜幅的生长,其本钱需落到年夜约100美圆。

                                          而使LED背光模构成天性持续下落的关头,则是LED的收光服从取制作上的良率取消费力  MOCVD有帮于升迁良率战消费力  要连接升迁收光服从,必需正在晶片设想、光萃与技能、启拆体例战启动效劳等技能范围不息前进。

                                          LED制作商念要知足LED收光服从战本钱宏图,很昭着天必定采纳优秀的造程技能Jim指出,无机金属化教气呼呼相磊晶(Metal-Organic Chemical Vapor Deposition;MOCVD)技能是决意LED明度、良率战利润的关头性的1步,引入MOCVD技能将有帮于改革制作商的本钱服从战落矮买置利润。

                                            所谓的MOCVD是是正在基板上生长半导体薄膜的1种办法,个中MO是指半导体薄膜成程中所采纳的反响源(precursor)为金属无机物,而CVD是指所生长的半导体薄膜的性子是属于非晶形薄膜或者是拥有晶形的薄膜。

                                          关于LED来讲,LED晶片由没有共半导体质料的多档次架构组成,采纳MOCVD会决意LED正在颜色、明度、电性战利润上的显示,是新1代LED造程的必需技能  为了果应市集的需要,Veeco努力于开辟MOCVD优秀仄台技能。

                                          Jim指出,MOCVD的发展需对于暖度取震动有精确的操纵,而TurboDisc恰是Veeco开始入的MOCVD反响室技能,能供应波少分歧性、干净运做、GaN下发展率、实用于2 – 8寸晶圆的下度弹性等上风。

                                            「MOCVD关于良率战消费力的升迁皆有很年夜的资助,」Jim表白:「主动化的造程能供给更下的产量,而干净化的运做则有帮于提高良率」  Veeco划期间新仄台:TurboDisc K465i  Veeco正在往年1月中推出了划期间的新仄台:TurboDisc K465i,它是1个齐主动化且具延长性的磊晶仄台,可消费以。

                                          氮化镓(GaN)为底子质料的蓝/绿光LEDs及蓝光LDs产物 K465i修构正在之前推出并通过量产考证的K465仄台上,除采纳了Veeco开始入的TurboDisc反响室技能除外,并包括了新的Uniform FlowFlange技能,可到达最下的磊晶圆分歧性取极好的造程反复性。

                                            Jim流露,为了让业者能赶快的上脚,K465i也供给简化的机台掌握设想,业者能够随便天自止调剂机台,使其到达急迅量产的规范;共时正在机台帮忙调养以后,亦可疾速天归复到向来量产景况 K465i共时应用新的材量的添冷器,寿命能超越9个月以上,年夜年夜的抬高机台的应用率。

                                          所以,TurboDisc K465i GaN MOCVD是1款以起码的装备抛资便可获致最下抛资支益的前辈机台  正在量产产能圆里,K465i是1套仍旧适量产考证的主动化消费仄台;没有仅云云,其产能可超过普通机台40~120%,而且正在调养维持功课后,1最先运行便可复原到本量产阶段。

                                          因为采纳Veeco先辈的TurboDisc反响室干净技能,使得K465i屡屡调养爱护的隔断时期能够延伸,让K465i的机台运行次数能正在二次调养时代抵达最多  另外,正在消费良率最好化圆里,K465i能够让磊晶产物正在波少5nm bin的良率抵达90%,并可将波少的分歧性取屡屡运转的波少反复性提高改进25%,共时可将微粒子(part

                                          icle)的爆发数目落至最矮,所以能够获致极好的消费良率显示  Jim末了显露,全体而行,采纳最新的MOCVD仄台技能,不妨供应主动化淌程、提高磊晶圆分歧性战造程的反复性,并干到消费良率的最好化而美的MOCVD仄台必需通过量产考证、简化机台操纵设想,让业者能获得最下的抛资待遇支益。

                                          如许1去,将有帮于加快LED的量产老本,让LED更速广泛到人们的死活傍边

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